一种霍尔试样制备装置

专利摘要:
本实用新型涉及一种霍尔试样制备装置，用于制备透明导电氧化物薄膜霍尔试样，所述霍尔试样制备装置包括基座、载玻片、盖板以及测试口，其中所述载玻片贴合在所述基座上；所述盖板以能够相对于所述基座转动的方式与所述基座连接；并且所述测试口设置于所述盖板上，并且当所述盖板扣合在所述基座上时，所述载玻片的至少一部分从所述测试口暴露至外部。本实用新型设计出的便携式霍尔试样制备装置，不需要高温胶带粘附，简单实用高效。
公开号:CN214334428U
申请号:CN202120287327.7U
申请日:2021-01-30
公开日:2021-10-01
发明作者:不公告发明人
申请人:Xuancheng Ruihui Xuansheng Enterprise Management Center Partnership LP；
IPC主号:G01N1-28

专利说明:
[n0001] 本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，尤其涉及霍尔试样制备技术领域，具体涉及一种霍尔试样制备装置。
[n0002] 在制备太阳能电池过程中，需要利用霍尔效应对透明导电氧化物(英文名为Transparent Conductive Oxide，简称TCO)薄膜的霍尔迁移率、载流子浓度、霍尔电阻等霍尔数据进行测量，以保证太阳能电池的合格率。
[n0003] 在制备透明导电氧化物薄膜霍尔试样时，利用载玻片等浮法玻璃作为衬底材料，并采用PVD(英文名为：Physical Vapor Deposition，中文名为：物理气相沉积)在衬底材料上制备透明导电氧化物薄膜。在采用载玻片制样时，为了跟踪透明导电氧化物薄膜的霍尔数据，一般都会给载玻片制作一种特定几何形状的掩膜版，也就是所谓的“cover”，现有的实验室采用的掩膜版一般都是带有几何图形的薄片。
[n0004] 现有用于实验室的不锈钢掩膜版与载玻片的固定需要用高温胶带粘附。高温胶带作为镀膜腔室里的引入外物，容易对腔室造成污染。
[n0005] 有鉴于此，本实用新型提出一种霍尔试样制备装置，不需要高温胶带粘附，简单实用高效。
[n0006] 为了达到上述技术目的，本实用新型所采用的具体技术方案为：
[n0007] 一种霍尔试样制备装置，用于制备透明导电氧化物薄膜霍尔试样，包括基座、载玻片、盖板以及测试口，其中
[n0008] 所述载玻片贴合在所述基座上；
[n0009] 所述盖板以能够相对于所述基座转动的方式与所述基座连接；并且
[n0010] 所述测试口设置于所述盖板上，并且当所述盖板扣合在所述基座上时，所述载玻片的至少一部分从所述测试口暴露至外部。
[n0011] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述测试口为对称的形状，并且对称地设置有多个测试位置，每个所述测试位置距离所述测试口中心的位置相同。
[n0012] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述测试口为N个，并且被排列成行，其中N为大于等于3的奇数。
[n0013] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述霍尔试样制备装置设置有至少一个卡合部，所述卡合部用于在所述盖板扣合在所述基座上时限制所述盖板相对于所述基座的移动。
[n0014] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述卡合部包括：
[n0015] 卡扣，设置在所述基座或盖板中的一个上；
[n0016] 卡孔，设置在所述基座或盖板中的另一个上；
[n0017] 并且当所述盖板扣合在所述基座上时，所述卡扣卡入所述卡孔内。
[n0018] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述卡扣为圆柱形。
[n0019] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述卡合部包括：
[n0020] 卡合弧面，设置在所述基座或盖板中的一个上；
[n0021] 弧状弹片，设置在所述基座或盖板中的另一个上；
[n0022] 并且当所述盖板扣合在所述基座上时，所述卡合弧面与所述弧状弹片弹性摩擦接触。
[n0023] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述基座上设置有用于放置所述载玻片的安装位。
[n0024] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述安装位包括多个，并且每个安装位包括对应的测试口。
[n0025] 根据本实用新型的一种具体实现方式，所述盖板通过转轴安装在所述基座上。
[n0026] 采用上述技术方案，本实用新型能够带来以下有益效果：
[n0027] 本实用新型的霍尔试样制备装置，采用转轴安装的基座和盖板，操作方便，采用金属材质后，对腔室不会造成污染。
[n0028] 本实用新型霍尔试样制备装置设计卡合部，能够保证盖板的盖合稳定性。
[n0029] 本实用新型霍尔试样制备装置开设多个测试口，提高了霍尔元件的制备效率。
[n0030] 为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[n0031] 图1为本实用新型具体实施方式中一种霍尔试样制备装置的结构图；
[n0032] 图2为本实用新型具体实施方式中盖板的主视图；
[n0033] 其中：1、基座；2、盖板；3、载玻片；4、测试口；5、卡扣；6、卡孔。
[n0034] 下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[n0035] 以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[n0036] 要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本实用新型，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[n0037] 还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[n0038] 另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
[n0039] 首先，参考图1，描述本申请实施例的霍尔试样制备装置，该霍尔试样制备装置用于制备透明导电氧化物透明导电氧化物薄膜霍尔试样，其包括基座1、载玻片3、盖板2以及测试口4。
[n0040] 基座1例如可以用陶瓷或耐高温塑料制成，并且可以设计成矩形；载玻片3例如可以是通过浮法制成的玻璃，并且也可以设计成矩形、方形等规则的形状；盖板2例如可以用不锈钢或耐高温的塑料制成，厚度例如为0.5-3mm，并且可以设计成与基座1对应的形状。
[n0041] 根据一个实施例，载玻片3尺寸为1×26×76mm，作为霍尔试样的制备原料的承托基底。载玻片3的具体尺寸可根据实际情况进行修改，仅需保证盖板2可以将霍尔元件的制备原料夹持在载玻片3上。
[n0042] 在本申请实施例中，载玻片3可以通过安装槽等贴合在基座1上，并且盖板2以能够相对于所述基座1转动的方式与所述基座1连接。具体地，基座1和盖板2的一端可以通过铰链连接，可替代地，基座1和盖板2的一端可以通过合页连接，如此实现彼此的相对转动。根据一个实施例，基座1和盖板2通过1mm×26mm的销钉连接，以实现基座1和盖板2之间的翻转。
[n0043] 测试口4设置于所述盖板2上，并且当所述盖板2扣合在所述基座1上时，所述载玻片3的至少一部分从所述测试口4暴露至外部。也就是说，测试口4需将霍尔试样的制备原料的表面尽量暴露出盖板2，并对霍尔试样的制备原料具有夹持作用，另外，测试口4还可以作为物理气相沉积的操作窗口，在本申请实施例中，测试口4的数量例如为两个。
[n0044] 应当理解，载玻片3可以是一体的载玻片，这样只有部分的载玻片3从测试口4漏出，可替代地，载玻片3可以是分散的载玻片，此时每个测试口4均对应有载玻片3。
[n0045] 在一个具体的实施例中，所述测试口4为对称的形状，并且对称地设置有多个测试位置，每个所述测试位置距离所述测试口4中心的位置相同。具体地，如图2所示，测试口4例如可以是8*8的方形的形状，并且在其四个角设置4*4四个测试位置，如此能够更加准确地测量霍尔试样的诸如霍尔迁移率、载流子浓度、霍尔电阻之类的霍尔数据。
[n0046] 此外，为了便于了解镀膜设备的性能，所述测试口4为N个，并且被排列成行，其中N为大于等于3的奇数。如此，通过成行地设置奇数个测试口，能够通过对称的两个测试口测量得到的霍尔数据反映镀膜设备的均匀性，且能够获得中间区域与边缘区域的对比数据。
[n0047] 应当理解，测试口4的设置不限于此，而是可以采取其他的形式。例如，可以在盖板2上不均匀地设置测试口4，如此减少由于位置带来的系统性误差。
[n0048] 在一个具体的实施例中，所述霍尔试样制备装置设置有至少一个卡合部，所述卡合部用于在所述盖板2扣合在所述基座1上时限制所述盖板2相对于所述基座1的移动。具体地，卡合部被设置于基座1或盖板2远离二者连接部的一端。
[n0049] 具体地，所述卡合部可以包括卡扣5，设置在所述基座1或盖板2中的一个上，所述卡合部还可以包括卡孔6，设置在所述基座1或盖板2中的另一个上，并且当所述盖板2扣合在所述基座1上时，所述卡扣5卡入所述卡孔6内。在这种情况下，卡合部为卡扣卡孔件，在载玻片3放进基座1与载玻片3之间后，基座1或盖板2顶部可通过处于基座1或盖板2顶部的卡扣5固定，并且卡扣可以为圆柱形。
[n0050] 在另外一个具体的实施例中，所述卡合部包括卡合弧面，设置在所述基座1或盖板2中的一个上，所述卡合部还包括弧状弹片，设置在所述基座1或盖板2中的另一个上，并且当所述盖板2扣合在所述基座1上时，所述卡合弧面与所述弧状弹片弹性摩擦接触。此时，卡合部为卡合弧面-弧状弹片件，并通过二者之间的摩擦实现卡合。
[n0051] 根据一个具体的实施例，卡合弧面固定在基座1上，并且弧状弹片固定在盖板2上。
[n0052] 应当理解，本申请实施例中的卡合部的形式不限于此，而是可以采取其他的形式，只要其能够防止或者减少基座1和盖板2之间的相对移动即可。另外，还应当理解，可以包括多个卡合部，以进一步加强基座1和盖板2的贴合稳定性，在这种情况下，例如可以沿着基座1和盖板2周边以均匀或者不均匀的方式设置多个卡扣卡孔件。
[n0053] 在一个具体的实施例中，所述基座1上设置有用于放置所述载玻片3的安装位。优选的，安装位为设置在基座1上的插槽，所述载玻片3能够插入所述插槽内，盖板2转动后扣合在安装位上。
[n0054] 此外，可以设置多个安装位，并且载玻片3能够可插入地设置于所述安装位中，并且每个安装位包括对应的测试口4。换句话说，并不是每个安装位都设置有载玻片3，并且在载玻片3沉积透明导电氧化物薄膜并测量霍尔数据之后，可以将沉积了透明导电氧化物薄膜的载玻片从基座1取出。
[n0055] 根据本实用新型的霍尔试样制备装置采用转轴安装基座和盖板，操作方便，采用金属材质后，对腔室不会造成污染。本实用新型设计卡合部，能够保证盖板的盖合稳定性。本实用新型开设多个测试口，提高了霍尔元件的制备效率。
[n0056] 在本申请实施例中的霍尔试样制备装置工作时，首先将载玻片3置于基座1上，并将盖板2扣合在基座1上，使得载玻片3从盖板2上的测试口4漏出。然后，将该霍尔试样制备装置置于镀膜设备中，于载玻片3上镀透明导电氧化物薄膜，然后利用霍尔效应对透明导电氧化物薄膜的霍尔数据进行测试，如此在开始批量生产之前判断透明导电氧化物薄膜的质量，或者在生产过程中抽检透明导电氧化物薄膜的质量。
[n0057] 以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

权利要求:
Claims (10)
[0001] 1.一种霍尔试样制备装置，用于制备透明导电氧化物薄膜霍尔试样，其特征在于，包括基座(1)、载玻片(3)、盖板(2)以及测试口(4)，其中
所述载玻片(3)贴合在所述基座(1)上；
所述盖板(2)以能够相对于所述基座(1)转动的方式与所述基座(1)连接；并且
所述测试口(4)设置于所述盖板(2)上，并且当所述盖板(2)扣合在所述基座(1)上时，所述载玻片(3)的至少一部分从所述测试口(4)暴露至外部。
[0002] 2.根据权利要求1所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述测试口(4)为对称的形状，并且对称地设置有多个测试位置，每个所述测试位置距离所述测试口(4)中心的位置相同。
[0003] 3.根据权利要求1所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述测试口(4)为N个，并且被排列成行，其中N为大于等于3的奇数。
[0004] 4.根据权利要求1所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述霍尔试样制备装置设置有至少一个卡合部，所述卡合部用于在所述盖板(2)扣合在所述基座(1)上时限制所述盖板(2)相对于所述基座(1)的移动。
[0005] 5.根据权利要求4所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述卡合部包括：
卡扣(5)，设置在所述基座(1)或盖板(2)中的一个上；
卡孔(6)，设置在所述基座(1)或盖板(2)中的另一个上；
并且当所述盖板(2)扣合在所述基座(1)上时，所述卡扣(5)卡入所述卡孔(6)内。
[0006] 6.根据权利要求5所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述卡扣为圆柱形。
[0007] 7.根据权利要求4所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述卡合部包括：
卡合弧面，设置在所述基座(1)或盖板(2)中的一个上；
弧状弹片，设置在所述基座(1)或盖板(2)中的另一个上；
并且当所述盖板(2)扣合在所述基座(1)上时，所述卡合弧面与所述弧状弹片弹性摩擦接触。
[0008] 8.根据权利要求1-7中任一项所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述基座(1)上设置有用于放置所述载玻片(3)的安装位。
[0009] 9.根据权利要求8所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述安装位包括多个，并且每个安装位包括对应的测试口(4)。
[0010] 10.根据权利要求1-7中任一项所述的霍尔试样制备装置，其特征在于，所述盖板(2)通过转轴安装在所述基座(1)上。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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